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Grundlagen der Photolithographie

Diese Lerneinheit dient zur Vorbereitung auf das praktische Arbeiten in einem Reinraum, indem die physikalischen und chemischen Grundlagen der Photolithographie behandelt werden. Mit Hilfe dieses Kurses und insbesondere dem Virtuellen Technologielabor (VTL) wird nicht nur die Theorie, sondern im Speziellen die Maschinenbedienung der Anlagen im Reinraum näher betrachtet. Der Online-Kurs soll die theoretisch erlernten Themen weiter bekräftigen und vertiefen (gedacht zur Vor- und Nachbereitung der Laborveranstaltung) sowie mit Hilfe von Simulationen, Videos, teilweise auch Animationen und detaillierten Beschreibungen der Anlagen die praktischen Arbeiten an den Maschinen einführen und erleichtern. Eine weitere Besonderheit bietet der Einsatz von virtuellen Maschinen zum Erlernen der Maschinenbedienung (virtuelles Kennenlernen der Reinraum-Anlagen), indem die Maschinen in ihren Einzelheiten vorgestellt, in den Kontext eingebunden und die Maschinenbedienungen virtuell eingeübt werden.

Als motivatorische Klammer wird die Herstellung eines realen Drucksensors gewählt. Entsprechend wird Ihnen diese Lerneinheit anlehnend an das Motivationsmodul Piezoresistiver Drucksensor präsentiert. Von dieser Einführung ausgehend, wird über konkrete Aufgabenstellungen das Erlernen der einzelnen Anlagen und Prozesse angestoßen.